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In den Bereichen der Analytik, des Liquidhandlings und der Automation ist es notwendig, bestimmte physikalische Größen als Prozessparameter über geeignete Sensorik zu überwachen bzw. zu regeln, um die Anlagensicherheit zu gewährleisten, den Prozess zu beherrschen bzw. Ergebnisse abzusichern und nicht zu verfälschen. Da dies nicht immer direkt im Prozess möglich ist, werden einzelne Komponenten in regelmäßigen Abständen auf Einhaltung der geforderten Systemspezifikationen separat überprüft.
Die Flussrate entscheidet darüber, ob in der gewünschten Zeiteinheit die richtige Menge gefördert wurde. Die Flussrate lässt sich je nach Prozess und Anforderung inline oder am Fluidik-Pfadende ermitteln.
Wenn die absolut zu dosierende Menge prozessrelevant ist, sollte die Dosiergenauigkeit des Systems überprüft werden. Dies erfolgt am zuverlässigsten gravimetrisch.
Die Überprüfung des Füllstandes schützt bei den Vorlagegefäßen vor einem Trockenlaufen und bei den Zielgefäßen vor dem Überlaufen. Gängige Arten der Füllstandsmessung sind z.B. Leitfähigkeitsmessung, Kapazitive Messung, Optische Messung oder Ultraschall.
Der Druck ist meist ein Parameter der eine Systembeschränkung definiert. Die Überwachung dient hier zur Sicherheit und kann zu einer Warnung bzw. zu einer Notabschaltung führen.
Die Prüfung auf Leckage ist dann sinnvoll, wenn gefährliche Substanzen gefördert werden, die z.B. leicht entzündlich, explosiv oder toxisch sind. Je nach Konzentration in der Raumluft kann es bei der Überwachung zu einer Warnung bzw. zu einer Notabschaltung führen.
Luftblasen in komplett gefüllten fluidischen Systemen können ein Zeichen für Undichtigkeiten bzw. für ein Ausgasen des Mediums sein. In beiden Fällen kann dies störend sein. Als kontaktlose Messverfahren können hierfür z.B. Ultraschall oder Wärmeleitfähigkeit verwendet werden.
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Die Probensammelgefäße (Position 1-4) als auch die Abfallgefäße (5-6) werden mit je 2 Füllstandssensoren überwacht. Ein Sensor prüft, ob die Flasche montiert ist, der zweite Sensor detektiert, ob der maximale Füllstand erreicht ist.
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